上海工程技术大学
服装学院磁控溅射镀膜机采购项目
招标文件
项目名称：服装学院磁控溅射镀膜机采购项目
招标方：上海工程技术大学资保处
招标文件
招标项目名称：服装学院磁控溅射镀膜机采购项目
发标时间：2013年10月21日星期一
一、 投标邀请
招标方式：
受用户委托和对采购项目的要求，本职能处室对服装学院磁控溅射镀膜机采购项目进行公开招标。具体技术要求见附件。
兹邀请合格投标人以密封标书的形式前来投标，标书一式二份，用单独的信封密封，并在信封上标明投标单位及投标项目名称，为确保标书的时效性和可行性，以专人送达为宜。
1． 投标地点：上海工程技术大学资保处物资供应中心（行政楼B108室）
2． 投标截止时间：
3． 开标时间和地点：2013年10月下旬，采取公开开、评标，地点：校资保处。
4． 开、评标结果由资保处具体人员通知投标单位。
5． 凡需对本次招标提出咨询的供应商，请在
6． 本招标方地址：上海市龙腾路333号 邮编：201620
7． 联系人：高 丹 电话：67791017
附：技术要求
本仪器的主要技术参数
1. 反应室数量：单室
2. 极限真空：2.0×10-4 Pa（环境湿度≤55%）
3. 真空漏率：≤1*10-7Pa•L/S
4. 溅射材料：各种金属膜、合金膜等
5. 溅射靶：φ
6. 最大样片尺寸：φ6英寸（φ
7. 溅射不均匀性：≤±5％（φ
8. 溅射室规格：φ450×
9. 工件台旋转：可自转，转速可调。
10. 样品加热：样品衬底可加热，加热体无挥发加热温度≥
本仪器的技术特性
1. 系统综述
设备为单室真空系统。
设备主要由真空室与真空抽气系统、气路系统、电气系统、磁控靶阴极系统、直流电源系统、恒压控制系统、冷却系统、加热系统、安全保护系统、报警系统、自动控制系统与控制软件等部分组成。
系统通过直流溅射方式镀膜，可以实现各种金属、合金薄膜的制备。
设备主要用于对Φ4英寸（最大到Φ6英寸）片状样品或片状柔性衬底样品镀膜。
2. 溅射室
设备通过一台分子泵及一台直联旋片式真空泵组成抽气系统, 将真空室抽至高真空, 分子泵与真空室之间装有一个电动插板阀，兼做压力调节阀, 直联旋片式真空泵为真空室预抽泵及分子泵前级泵。直联旋片式真空泵与真空室之间及与分子泵之间均采用不锈钢硬管及波纹管连接, 并装有电磁气动隔断阀。
真空室为桶型立式结构，上升盖形式, 采用不锈钢制成，并经表面喷砂抛光处理。样片台放置于室下部，可旋转，可加热。系统支持三个溅射靶倾斜安置于上部(本设备配置两个磁控靶，预留一个磁控靶接口)，可实现单层膜溅射，复合膜溅射，多层膜交替溅射等。
设备配有下游恒压控制系统，通过电动插板调节阀控制，使真空室达到恒压,提高工艺稳定性。
系统配备直流电源一台,供两个溅射靶分别使用，直流电源可通过自动切换开关切换到两个靶上。
气路系统采用一台质量流量控制器控制一路气体进气（Ar），气体管路采用1/4英寸不锈钢硬管，管路接头连接形式采用双卡套连接。
溅射室适当位置开有2个观察窗（主要观察样品盘，靶面等），1个测量备用接口，溅射室内部安装1个照明灯。
溅射室采用1Cr18Ni9Ti不锈钢制造。
3. 系统自动化控制
设备的自动控制系统采用PLC、工控机控制、液晶显示屏及鼠标键盘操作，实现真空系统及工艺过程全自动化。系统可选择全自动及非全自动模式。
系统可以将用户的成熟工艺方便地储存于用户工艺数据库中，结合公司提供的标准工艺数据库，用户可以简单地通过工艺名从工艺数据库中调出某一工艺自动执行。
4. 安全保护
设备设有互锁、异常断电自动记忆、自动工艺编程校验等安全保护措施，使非恶意的人为操作失误不会导致系统硬、软件的损坏。系统支持诸如缺水故障、分子泵故障、通讯故障等故障情况下的自动报警。